OpTalix干涉圖分析

OpTalix干涉圖分析的圖1

可以從系統(tǒng)波前計算合成干涉圖,該系統(tǒng)模擬在干涉測試設(shè)置中獲得的結(jié)果。

考慮了光圈遮蓋(如圖所示)和漸暈。經(jīng)過公差模擬,不僅可以獲得理論干涉圖,而且可以獲得實際制造系統(tǒng)的預(yù)期結(jié)果。產(chǎn)生干涉圖的波前顯示在圖的右側(cè)。

不包含在OpTaliX-LT中。




OpTalix干涉圖分析的圖2
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