干涉圖分析 | OPTALIX

干涉圖分析

OP-02-20201223.gif

可以從系統波前計算合成乾涉圖,該系統模擬在干涉測試設置中獲得的結果。考慮了光圈遮蓋(如圖所示)和漸暈。經過公差模擬,不僅可以獲得理論干涉圖,而且可以獲得實際製造系統的預期結果。

不包含在OpTaliX-LT中

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干涉圖分析 | OPTALIX的圖3

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