基于comsol的非線性電阻式微傳感器
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本次模型是一款叉指電阻式微傳感器。 傳感器內部有一個空腔區域,上下分別為叉指電路和導電極板。
工作原理:1、叉指電路聯通正負極,上部導電極板在壓力作用下向下變形并接觸叉指電路;
2、不斷聯通的過程中,整個叉指電路正負極輸出的電阻值出現變化,感應到接觸的發生;
3、通過算法,將阻值的變化轉化為壓力值,完成對壓力的感應。
以下是傳感器剖面圖,展示了傳感器在壓力作用下上極板的變形和應力分布。

以下是由于上極板接觸叉指電路后,引起的電勢變化。可以看到被聯通的叉指越來越多。

以下是傳感器空腔的上下面接觸壓力變化。
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