本文通過FDTD的參數掃描功能分析了薄膜中WO3層厚度對反射率影響，結果曲線如下圖所示。

建模及數據分析過程主要如下：

1.導入材料

點擊Materials

點擊Add，選擇Sampled 3D data

點擊Import，在Select File中選擇折射率文件，導入即可。

2.添加結構

結構添加可以直接查看WO3.fsp文件中的設置，這里只需要設置幾何位置和材料屬性，記得WO3材料選用剛才添加的。

3. 設置FDTD Region

由于你這個是薄膜結構，X和Y方向是無限延伸的，z方向是你的結構，因此X，Y方向設置成周期性邊界條件，邊界條件中PML層profile可以默認standard，也可以設置成steep
angle，可以提高計算速度。

結構尺寸上按需求設置，X，Y方向沒有特別要求，Z方向最小值應設置在W層中，最大值在WO3上方，同時遠離結構至少半個波長。其他不需要特別修改，默認即可。

4.光源設置

光源選擇平面波，入射方向設置z負方向。光源尺寸大于FDTD尺寸（如果沒有大于會在仿真時自動拓展），光源放置在結構上方，具體可以對比結構尺寸和光源尺寸查看。

隨后設置入射光波長范圍，這里設置成0.4~0.9。

5.監視器設置

主要設置反射率監視器。

監視器類型選擇Frequency-domain field and power。

監視器選擇Z-normal，XY平面尺寸大于FDTD尺寸，大了無所謂，超出的部分不會記錄數據，主要是設置Z方向的位置。反射率監視器在光源和FDTD上邊界中間。

6.添加mesh

建模設計過程沒有先后次序，什么時候設置都可以。網格設置基于結構，并寫入響應結構的名稱。

7.參數掃描

參數掃描在軟件右下角，也可以通過view-windows-optimizations and sweeps打開。

選擇第一個新建sweep

右鍵編輯，從下拉菜單中選擇自己想要掃描的參數，并添加掃描范圍和掃描頻率，在下方添加結果監視器，這里監視器選擇前面設置的反射率監視器。

運行掃描，點擊運行按鈕，等待運行結束即可。

最后，可以將數據輸出到matlab中，再利用matlab進行后處理。

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