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ZEMAX软件技术应用专题:利用Kogelnik方法模擬體積全像光柵的繞射效率
然後將薄膜進行化學或
熱
顯影:這就是光柵。光柵上的表面是光滑的,但光柵內部的折射率是正弦調變的。為了對VHG進行建模,需要使用高效的Kogelnik理論或嚴格耦合波分析(RCWA)等算法。 圖1(a)所示的SRG,可以通過幾種方法製造,如
電子
束寫入,光刻,納米壓印,或鑽石車削。與VHG不同,SRG沒有空間變化的折射率。相反,光柵的表面是由周期性的微結構組成的。
2121
w**elab86_Swsp
3年前
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